納米結構由于在眾多領域的應用潛能引起了越來越多的關注,如光催化、生物傳感、電磁學和超疏水材料等方面。目前先進的納米結構加工技術包括電子束曝光、聚焦離子束直寫、探針直寫技術等。這些加工方法可以制備出高分辨率的納米結構,但是較低的加工效率和高額的加工成本使得大規模生產仍然是一個巨大挑戰。
中科院光電技術研究所胡松課題組基于現有的發展現狀,展示了一種納米球碗陣列的加工制備新方法,該方法結合了PS球自組裝過程、納米壓印技術以及溶脫剝離技術,具體的加工過程如圖1所示。首先是將納米尺度的PS球自組裝在基片上,作為納米壓印技術的模板使用,然后調節壓印的壓力和壓印膠的厚度,控制納米球浸沒的深度,最后利用溶脫剝離技術去除PS球,獲得口徑大小不一的納米球碗陣列結構,如圖2所示。該研究提出的新方法,可以實現不同尺寸的納米球碗的可控制作,在反應器件、催化和表面拉曼增強基底等方面具有廣闊的應用前景。
圖1納米球碗制備過程
圖2不同口徑的納米球碗陣列結構