氣浮式轉臺是超精密機械中的一種典型結構，從誕生之日起就一直受到世人的關注，它為微光刻技術、數控加工、生物技術、納米表面形貌測量、高精密機床研發等領域提供一個能夠實現超精密定位、檢測和精確運動的載物平臺，為開展超精密加工工藝技術研究拓展了領域，能解決高精度零件在加工、檢測等方面的難題。
光電所精密機械制造中心借助部門多年的精密機械加工及裝配經驗，采用最優參數及合理的精度分配完成了前期的設計工作，搭建了氣浮轉臺精度檢測平臺，最終成功研制出一臺直徑200mm的氣浮轉臺，由此掌握了氣浮轉臺從設計到制造的全套技術。
在所專項基金支持下，精密機械制造中心2009年成立氣浮攻關團隊開展氣浮轉臺研制工作。研究團隊對高壓氣體的流動規律、壓力分布、轉臺精度分離方法等進行了充分研究。搭建節流器性能實驗平臺，研究其影響因素——高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節流器直徑、節流器數量、均壓槽深度等，找到了最優氣膜剛度時的參數區間。在氣浮轉臺研制上取得了關鍵技術突破，為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術基礎。